Klassifisering etter kjemisk dampavsetning
Det er mange metoder for kjemisk dampavsetning, for eksempel atmosfæretrykk CVD (APCVD), lavtrykk CVD (LPCVD), ultrahøy vakuum CVD (UHVCVD), laserkjemisk damp Laseravsetning (LCVD), metallorganisk kjemisk dampdeponering (MOCVD) , plasmaforbedret kjemisk dampavsetning (PECVD), etc.